| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09246217(A) |
申请公布日期 |
1997.09.19 |
| 申请号 |
JP19960321787 |
申请日期 |
1996.12.02 |
| 申请人 |
WACKER JIRUTORONIKU G FUER HARUBURAITAAMATERIARIEN AG |
发明人 |
HANIFUI MARUKOTSUKU |
| 分类号 |
B24B1/00;B24B7/22;B24B47/22;B24B49/03;B28D1/00;B28D5/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B24B1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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