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发明名称 METHOD FOR CALCULATING WIRE RESISTANCE OF SEMICONDUCTOR CIRCUIT AND CAD SYSTEM FOR THE CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH09246385(A) 申请公布日期 1997.09.19
申请号 JP19960044700 申请日期 1996.03.01
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ANAZAWA TETSUYA
分类号 H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
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