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发明名称 HANDOTAIDEBAISUNOSEIZO
摘要
申请公布号 JP2653804(B2) 申请公布日期 1997.09.17
申请号 JP19870502876 申请日期 1987.04.28
申请人 EI TEI ANDO TEI CORP 发明人 KOOZU JEFUREI TOOMASU
分类号 H01L21/205;C23C16/40;H01L21/22;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/318 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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