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发明名称 STRUCTURE AND METHOD FOR EXPOSING PHOTORESIST
摘要
申请公布号 EP0795199(A1) 申请公布日期 1997.09.17
申请号 EP19950942471 申请日期 1995.11.22
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES INC. 发明人 PRAMANICK, SHEKHAR;LUNING, SCOTT;FEWKES, JONATHAN
分类号 G03F7/09;H01L21/027;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/027;H01L21/321 主分类号 G03F7/09
代理机构 代理人
主权项
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