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发明名称 MASUKULDDKOZONOMOSGATAHANDOTAISOCHINOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2653632(B2) 申请公布日期 1997.09.17
申请号 JP19930327531 申请日期 1993.12.24
申请人 TOSHIBA KK;TOSHIBA MAIKUROEREKUTORONIKUSU KK 发明人 ATSUMI SHIGERU;SAITO SHINJI;TANAKA SUMIO;OOTSUKA NOBUAKI;YOSHIKAWA KUNYOSHI;KAMEI TAKASHI
分类号 H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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