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发明名称 TOEIROKOHOHO
摘要
申请公布号 JP2653356(B2) 申请公布日期 1997.09.17
申请号 JP19960012513 申请日期 1996.01.29
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 KAWAMURA YOSHIO;TAKANASHI AKIHIRO;KUNYOSHI SHINJI;KUROSAKI TOSHISHIGE;TERASAWA TSUNEO;HOSAKA SUMIO
分类号 G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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