用于生产数据存储光盘模具的方法

摘要

一种用于生产数据存储光盘模具的方法，包括如下步骤：提供一个化学汽相淀积的碳化硅衬底，它的硬度大约4.5MPa，粗糙度大约为1nm，平滑度大约为6μm，并在衬底表面淀积一层负光刻胶。衬底直径超过120mm，厚度大于1mm。然后用激光使光刻胶曝光，从而在光刻胶表面形成一个负数据图样。然后光刻胶被显影，所述陶瓷衬底被离子加工以在衬底上形成所述数据图样，这样具有螺脊和平地的螺旋轨迹就形成了，其中每条螺脊高度为20到200nm。在所述数据图样被离子加工到衬底上后，显影了的光刻胶就从衬底剥离。

主权项

1.一种生产数据存储光盘模具的方法，包括如下步骤：提供一种硬度至少为的可进行离子加工的陶瓷衬底；在所述衬底的表面淀积一层光刻胶；用一种电磁能源使所述光刻胶曝光以在所述光刻胶上形成数据图样；将所述光刻胶显影；以及离子加工所述数据图样，以便在所述衬底上形成有至少一条螺脊和至少一个平地的螺旋轨迹。