| 发明名称 |
HANDOTAIKIBANHYOKAHOHOOYOBISOCHI |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2653566(B2) |
申请公布日期 |
1997.09.17 |
| 申请号 |
JP19910063586 |
申请日期 |
1991.03.27 |
| 申请人 |
TOSHIBA KK |
发明人 |
MYASHITA MORYA;KAGEYAMA MOKUJI;HIRATSUKA HACHIRO |
| 分类号 |
G01B11/30;C30B33/00;G01N21/88;G01N21/93;H01L21/66;H01S3/00;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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