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发明名称 HANDOTAISOCHINOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2654110(B2) 申请公布日期 1997.09.17
申请号 JP19880194959 申请日期 1988.08.03
申请人 FUJITSU KK 发明人 AKIBA TOSHIHIKO
分类号 H01L27/088;H01L21/8234;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L27/088
代理机构 代理人
主权项
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