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发明名称 HANDOTAISOCHINOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2653565(B2) 申请公布日期 1997.09.17
申请号 JP19910045279 申请日期 1991.03.12
申请人 SHAAPU KK 发明人 NAKAGAWA YASUHITO
分类号 H01L21/26;H01L21/265;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/26 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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