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发明名称 DEVICE FOR GROWING SINGLE CRYSTAL AND METHOD FOR GROWING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH09241091(A) 申请公布日期 1997.09.16
申请号 JP19960054708 申请日期 1996.03.12
申请人 SUMITOMO SITIX CORP 发明人 SHIRAKAWA YOSHINORI
分类号 C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/00 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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