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发明名称
SHUTTER FOR SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH09241838(A)
申请公布日期
1997.09.16
申请号
JP19960049317
申请日期
1996.03.06
申请人
SONY CORP
发明人
IGARASHI KOICHI
分类号
C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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