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发明名称 Kontrolle der Erzeugung von Partikeln in einer Reaktionskammer
摘要
申请公布号 DE69404764(D1) 申请公布日期 1997.09.11
申请号 DE1994604764 申请日期 1994.04.29
申请人 APPLIED MATERIALS, INC., SANTA CLARA, CALIF., US 发明人 GUPTA, ANAND, SAN JOSE, CALIFORNIA 95131, US;YE, YAN, CAMPBELL, CALIFORNIA 95008, US;LANUCHA, JOSEPH, SUNNYVALE, CALIFORNIA 94086, US
分类号 C23C16/50;C23C16/44;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32;C23C16/02 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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