发明名称 STRUKTURIERTE LEITERBAHNEN UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DERSELBEN
摘要
申请公布号 DE59208785(D1) 申请公布日期 1997.09.11
申请号 DE19925008785 申请日期 1992.06.23
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH, 52428 JUELICH, DE 发明人 COPETTI, CARLO, D-52428 JUELICH, DE;SCHUBERT, JUERGEN, D-50189 ELSDORF-BERRENDORF, DE;ZANDER, WILLI, D-5173 ALDENHOVEN-NEU PATTERN, DE;BUCHAL, CHRISTOPH, D-5170 JUELICH, DE
分类号 H01B12/06;H01L21/60;H01L23/485;H01L23/498;(IPC1-7):H01L23/498 主分类号 H01B12/06
代理机构 代理人
主权项
地址