发明名称 CATHODE UNIT WITH SUPPLY SYSTEM
摘要
申请公布号 RU2089663(C1) 申请公布日期 1997.09.10
申请号 RU19930020198 申请日期 1993.04.20
申请人 MOSKOVSKIJ GOSUDARSTVENNYJ INSTITUT ELEKTRONIKI I MATEMATIKI (TEKHNICHESKIJ UNIVERSITET) 发明人 IVASHOV EVGENIJ N;KONDRASHOV PAVEL E;ORINCHEV SERGEJ M;SLEPTSOV VLADIMIR V;STEPANCHIKOV SERGEJ V
分类号 C23C14/54;C23C14/00;(IPC1-7):C23C14/54 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
地址