| 摘要 |
Nach dem Stand der Technik sind Maschinen bekannt, die zur Kühlung der zu bearbeitenden Oberfläche eine Gaszufuhrleitung aufweisen, die in einen Gasaustritt mündet, welcher sich in unmittelbarer Nähe der Polierscheibe befindet. Beim Einsatz von CO2 als Kühlgas können in der Leitung sowie im Gasaustritt Verstopfungen auftreten, die auf Schneebildung des CO2 zurückzuführen sind. Um Verstopfungen zu vermeiden, sind der Maschine (1) Mittel (5) zur Zufuhr des flüssigen oder überkritischen CO2 zugeordnet, die ein Ventil (11,12) zur Regulierung der Durchflußmenge des CO2 mit einer Entspannungsdüse (7) umfassen, wobei das Ventil (11) innerhalb der Maschine (1) angeordnet ist. <IMAGE>
|
