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发明名称 KANETSURO
摘要
申请公布号 JP2651601(B2) 申请公布日期 1997.09.10
申请号 JP19880190395 申请日期 1988.07.29
申请人 TOKYO EREKUTORON KK 发明人 KUMAGAI HIROMI;SATO KO;IMAI YOSHIO;IWATA TERUO
分类号 C23C16/44;H01L21/22;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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