发明名称 BONDEINGUSOCHI
摘要
申请公布号 JP2651685(B2) 申请公布日期 1997.09.10
申请号 JP19870329650 申请日期 1987.12.28
申请人 TOSHIBA MEKATORONIKUSU KK 发明人 YANAGISAWA SHIZUYASU
分类号 H01L21/52;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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