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经营范围
发明名称
BONDEINGUSOCHI
摘要
申请公布号
JP2651685(B2)
申请公布日期
1997.09.10
申请号
JP19870329650
申请日期
1987.12.28
申请人
TOSHIBA MEKATORONIKUSU KK
发明人
YANAGISAWA SHIZUYASU
分类号
H01L21/52;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/52
主分类号
H01L21/52
代理机构
代理人
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