| 发明名称 |
KISOHODAIYAMONDOGOSEIHOOYOBIGOSEISOCHI |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2651773(B2) |
申请公布日期 |
1997.09.10 |
| 申请号 |
JP19930023227 |
申请日期 |
1993.01.19 |
| 申请人 |
SHOWA DENKO KK;HIROSE YOICHI |
发明人 |
HIROSE YOICHI;KOMAKI KUNIO |
| 分类号 |
C23C16/26;C23C16/27;C30B29/04;H01L21/205;(IPC1-7):C30B29/04 |
主分类号 |
C23C16/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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