| 发明名称 |
KISOSEICHOYOJUKIKINZOKUKAGOBUTSUKYOKYUSOCHI |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2651530(B2) |
申请公布日期 |
1997.09.10 |
| 申请号 |
JP19880094093 |
申请日期 |
1988.04.15 |
| 申请人 |
SUMITOMO KAGAKU KOGYO KK |
发明人 |
SARARA KENICHI;YAKO TADAAKI |
| 分类号 |
H01L21/205;B01J7/00;C23C16/18;C23C16/44;C23C16/448;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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