| 发明名称 | 具有固定桁条的集成电路触点 | ||
| 摘要 | 一种具有牢固地粘附在接触孔(44)侧壁上的桁条(42)的大尺寸触点。使接触孔(44)作成具有带着向外凸出槽(40)的光刻构图周边。槽的尺寸在至少一个方向上等于最小的触点尺寸，以便保证槽区中良好的台阶覆盖。槽(40)通过增加能增加粘附性的侧壁表面面积，使应力从桁条(42)分布到槽区上，并为槽(40)提供良好的台阶覆盖，而起着把桁条固定在接触孔(44)的侧壁上的作用。 | ||
| 申请公布号 | CN1159250A | 申请公布日期 | 1997.09.10 |
| 申请号 | CN96190055.5 | 申请日期 | 1996.05.29 |
| 申请人 | 爱特梅尔股份有限公司 | 发明人 | 布拉德利·J·拉森;库尔特·舍腾雷博 |
| 分类号 | H01L21/8247 | 主分类号 | H01L21/8247 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 张政权 |
| 主权项 | 1.一种半导体触点结构，其特征在于包括：具有包括衬底和薄膜层在内的多层结构的半导体主体，它们都具有相对应的主表面，所述衬底的对应主表面靠近所述薄膜层的对应主表面，所述衬底具有有源区，所述主体包含有从所述有源区延伸出来的通孔，终止在位于所述衬底相对面上所述薄膜层对应主表面中的小孔，所述通孔具有围绕一轴排列的光刻构图周边，所述轴垂直于所述对应主表面而延伸，所述光刻构图周边具有多个隔开的从所述轴向外延伸的开槽凸起。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||