发明名称 Menetelmä ja laite pinnan korkeustiedon määrittämiseksi pinnan tasomaisuuden mittauksessa
摘要
申请公布号 FI98959(C) 申请公布日期 1997.09.10
申请号 FI19950000748 申请日期 1995.02.17
申请人 SPECTRA-PHYSICS VISIONTECH OY, 发明人 PAAKKARI,JUSSI;ALAPURANEN,PERTTI
分类号 G01B;G01B11/24;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B
代理机构 代理人
主权项
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