| 发明名称 |
ZETSUENGEITOGATADENKAIKOKAHANDOTAISOCHIOYOBISONOSAKUSEIHOHO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2652364(B2) |
申请公布日期 |
1997.09.10 |
| 申请号 |
JP19950335551 |
申请日期 |
1995.12.22 |
| 申请人 |
HANDOTAI ENERUGII KENKYUSHO KK |
发明人 |
YAMAZAKI SHUNPEI;MASE AKIRA |
| 分类号 |
H01L29/786;H01L21/336;(IPC1-7):H01L29/786 |
主分类号 |
H01L29/786 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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