发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH09237829(A) 申请公布日期 1997.09.09
申请号 JP19960044388 申请日期 1996.03.01
申请人 HITACHI LTD 发明人 NONAKA YUSUKE
分类号 H01L21/76;H01L27/08;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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