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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH09237787(A)
申请公布日期
1997.09.09
申请号
JP19960042783
申请日期
1996.02.29
申请人
NIKON CORP
发明人
YAGI TAKESHI
分类号
H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/322
主分类号
H01L21/322
代理机构
代理人
主权项
地址
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