发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH09237787(A) 申请公布日期 1997.09.09
申请号 JP19960042783 申请日期 1996.02.29
申请人 NIKON CORP 发明人 YAGI TAKESHI
分类号 H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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