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发明名称 EVAPORATOR BOAT FOR SUBSTRATE COATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09235665(A) 申请公布日期 1997.09.09
申请号 JP19970043145 申请日期 1997.02.27
申请人 BARUTSUAASU & LEYBOLD DOICHIYURANTO HOLDING AG 发明人 BUORUFUGANGU AHATONAA;GIYUNTAA KUREMU
分类号 C23C14/24;C23C14/26;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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