| 发明名称 |
RADIATION HEATING APPARATUS AND METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09237764(A) |
申请公布日期 |
1997.09.09 |
| 申请号 |
JP19960067355 |
申请日期 |
1996.02.28 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
MAYUZUMI MASANORI |
| 分类号 |
C23C16/46;C23C16/48;C30B25/10;C30B31/12;C30B35/00;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/26;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/26 |
主分类号 |
C23C16/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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