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发明名称 TEST APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH09237810(A) 申请公布日期 1997.09.09
申请号 JP19960265149 申请日期 1996.09.14
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 TANAKA HIDEAKI;ABE YUICHI
分类号 G01R31/00;G01R31/28;G01R31/319;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/00
代理机构 代理人
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