| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR DETECTING PATTERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09236415(A) |
申请公布日期 |
1997.09.09 |
| 申请号 |
JP19960044665 |
申请日期 |
1996.03.01 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KOBAYASHI IRARIO HARUOMI;HARA YASUHIKO;KADOYA AKIYOSHI;SASADA MASATO |
| 分类号 |
G01B11/24;H01L21/66;H05K3/00;(IPC1-7):G01B11/24 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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