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发明名称 ION BEAM SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09235670(A) 申请公布日期 1997.09.09
申请号 JP19960042992 申请日期 1996.02.29
申请人 HITACHI LTD 发明人 ISHIKAWA YASUSHI
分类号 C23C14/02;C23C14/46;C23F4/00;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/46 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
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