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发明名称 CONTACT PROBE
摘要
申请公布号 JPH09236618(A) 申请公布日期 1997.09.09
申请号 JP19960044867 申请日期 1996.03.01
申请人 FUJIKURA LTD 发明人 SHIMOMURA AKIO;ONUMA TOSHIO
分类号 G01R1/06;G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
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