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经营范围
发明名称
PRODUCTION UNIT FOR SINGLE CRYSTAL AND PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号
JPH09235174(A)
申请公布日期
1997.09.09
申请号
JP19960044377
申请日期
1996.03.01
申请人
SUMITOMO SITIX CORP
发明人
KURAGAKI SHUNJI
分类号
C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/00
主分类号
C30B15/00
代理机构
代理人
主权项
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