发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09232336(A) 申请公布日期 1997.09.05
申请号 JP19960040160 申请日期 1996.02.27
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAGAHARA MASAKI;TATENO YASUNORI;TAKIGAWA MASAHIKO
分类号 H01L29/812;H01L21/203;H01L21/335;H01L21/338;H01L29/47;H01L29/80;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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