发明名称 SCANNING-TYPE PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH09229943(A) 申请公布日期 1997.09.05
申请号 JP19970070077 申请日期 1997.03.24
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 SATO CHIAKI;KOSHIISHI KIYOZO;SHIGETOMI SADAO;MISHIMA SHUZO;TAKASE TSUGIKO
分类号 G01B7/34;G01B11/30;G01B21/30;G01N37/00;G01Q30/02;G01Q60/10;G01Q90/00;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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