发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09232352(A) 申请公布日期 1997.09.05
申请号 JP19960059991 申请日期 1996.02.21
申请人 SONY CORP 发明人 ITO HITOSHI
分类号 H01L21/56;H01L23/50;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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