| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09232331(A) |
申请公布日期 |
1997.09.05 |
| 申请号 |
JP19960038331 |
申请日期 |
1996.02.26 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
FUOKA TAKEO;KATO KATSUYUKI |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/225;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/331;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
