发明名称 |
FORMING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09232317(A) |
申请公布日期 |
1997.09.05 |
申请号 |
JP19960354459 |
申请日期 |
1996.12.18 |
申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
CHIYOU KOUYUU;MURAKAMI AKANE |
分类号 |
H01L21/28;H01L21/265;H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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