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发明名称
MINUTE TIP FOR DETECTING TUNNEL CURRENT AND/OR MINUTE FORCE, PROBE HAVING MINUTE TIP THEREOF AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号
JPH09229946(A)
申请公布日期
1997.09.05
申请号
JP19960061877
申请日期
1996.02.23
申请人
CANON INC
发明人
SHIMADA YASUHIRO
分类号
G01B7/34;G01B7/00;G01B21/30;G01N37/00;G01Q60/16;G01Q60/38;G02B21/00;G11B9/00;G11B9/14;(IPC1-7):G01N37/00
主分类号
G01B7/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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