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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH09232457(A) 申请公布日期 1997.09.05
申请号 JP19960041153 申请日期 1996.02.28
申请人 NEC CORP 发明人 KISHI SHUJI
分类号 H01L27/06;H01L21/8222;H01L21/8248;H01L21/8249;(IPC1-7):H01L21/824;H01L21/822 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
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