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发明名称 AUTOMATIC LAYOUT AND WIRING METHOD
摘要
申请公布号 JPH09232438(A) 申请公布日期 1997.09.05
申请号 JP19960039873 申请日期 1996.02.27
申请人 TOSHIBA MICROELECTRON CORP;TOSHIBA CORP 发明人 FUJIWARA SATOSHI;KATO YOSHIHIRO;IWASAKI TSUNEHISA;YOSHIDA EMIKO;YAMASHITA SHIGEO;TAKAHASHI NAOKI
分类号 H01L21/822;G06F17/50;H01L21/82;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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