| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR EVALUATING SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09232394(A) |
申请公布日期 |
1997.09.05 |
| 申请号 |
JP19960031582 |
申请日期 |
1996.02.20 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
MURAKAMI SATOSHI;NISHINO HIROSHI |
| 分类号 |
G01N22/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01N22/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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