发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09232329(A) 申请公布日期 1997.09.05
申请号 JP19960035856 申请日期 1996.02.23
申请人 HITACHI DENSHI LTD 发明人 HARIO TOSHIO
分类号 H01L21/28;H01L21/265;H01L21/331;H01L29/73;H01L29/732;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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