| 发明名称 |
FLEXIBLE SHUTTER FOR QUARTZ TUBE OF DIFFUSION FURNACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09232242(A) |
申请公布日期 |
1997.09.05 |
| 申请号 |
JP19960040074 |
申请日期 |
1996.02.27 |
| 申请人 |
MIYAZAKI OKI ELECTRIC CO LTD;OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
YOSHITAKA NAOTO |
| 分类号 |
C30B31/18;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/22 |
主分类号 |
C30B31/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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