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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09232372(A) 申请公布日期 1997.09.05
申请号 JP19960038261 申请日期 1996.02.26
申请人 TOSHIBA MICROELECTRON CORP;TOSHIBA CORP 发明人 TAZAWA HIROSHI;TAKUBO TOMOAKI;HOSOMI HIDEKAZU;HIRANO NAOHIKO;DOI KAZUHIDE;OKADA TAKASHI;HIRUTA YOICHI;SHIBAZAKI YASUSHI
分类号 H01L21/60;H05K3/34;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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