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发明名称 MANUFACTURE OF MINUTE PROBE AND MINUTE PROBE, MANUFACTURE OF PROBE AND PROBE, AND MANUFACTURE OF NEGATIVE FORM SUBSTRATE AND NEGATIVE FORM SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH09229944(A) 申请公布日期 1997.09.05
申请号 JP19960061870 申请日期 1996.02.23
申请人 CANON INC 发明人 YAGI TAKAYUKI
分类号 G01N37/00;G01Q60/16;G01Q60/38;G11B9/00;G11B9/14;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01N37/00
代理机构 代理人
主权项
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