发明名称 MULTI-LAYER WIRING SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH09232429(A) 申请公布日期 1997.09.05
申请号 JP19960041143 申请日期 1996.02.28
申请人 NEC CORP 发明人 GOTO YOSHIRO
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/306 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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