发明名称 |
THIN FILM TRANSISTOR, MANUFACTURE THEREOF AND THIN FILM TRANSISTOR MATRIX DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09232583(A) |
申请公布日期 |
1997.09.05 |
申请号 |
JP19960039402 |
申请日期 |
1996.02.27 |
申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
ICHIMURA TERUHIKO;WATABE JUNICHI;MATSUMOTO TOMOTAKA;OHORI TATSUYA |
分类号 |
H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/336 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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