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发明名称 COMPOSITE WAFER SUBSTRATE FOR THIN FILM PROCESS
摘要
申请公布号 JPH09232199(A) 申请公布日期 1997.09.05
申请号 JP19960067338 申请日期 1996.02.27
申请人 VICTOR CO OF JAPAN LTD 发明人 KAWANAKA HIROYUKI
分类号 G11B5/31;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 G11B5/31
代理机构 代理人
主权项
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