| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09232379(A) |
申请公布日期 |
1997.09.05 |
| 申请号 |
JP19960292303 |
申请日期 |
1996.11.05 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD;MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
KAWAKITA TETSUO;MATSUMURA KAZUHIKO;YAMANE ICHIRO |
| 分类号 |
H01L21/60;H01L21/321;H01L21/66;H01L25/065;H01L25/07;H01L25/18;(IPC1-7):H01L21/60 |
主分类号 |
H01L21/60 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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