| 发明名称 |
AUTOMATIC PEEL-OFF/RE-WIRING METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09232434(A) |
申请公布日期 |
1997.09.05 |
| 申请号 |
JP19960034573 |
申请日期 |
1996.02.22 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP |
发明人 |
FUKUDA KAZUYUKI;HATTORI TOSHIHIRO |
| 分类号 |
H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):H01L21/82 |
主分类号 |
H01L21/82 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
